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亚博体育官方网站的主要性能要求介绍

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亚博体育官方网站的主要性能要求介绍

发布日期:2016-03-29 00:00 来源:http://www.bjpram.com 点击:

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  杂质含量:亚博体育官方网站固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的亚博体育官方网站对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金亚博体育官方网站,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

  密度:为了减少亚博体育官方网站固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求亚博体育官方网站具有较高的密度。亚博体育官方网站的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。亚博体育官方网站密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高亚博体育官方网站的密度和强度使亚博体育官方网站能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是亚博体育官方网站的关键性能指标之一。


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