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亚博体育官方网站的主要性能要求

发布日期:2016-03-29 17:45 来源:http://www.bjpram.com 点击:

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纯度

亚博国际游戏注册狗亚官网 亚博体育官方网站? ? 纯度是亚博体育官方网站的主要性能指标之一,因为亚博体育官方网站的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对亚博体育官方网站的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的亚博体育官方网站纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对亚博体育官方网站纯度则要求99.999%甚至99.9999%。?

杂质含量

? ? 亚博体育官方网站固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的亚博体育官方网站对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金亚博体育官方网站,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。?

密度

? ? 为了减少亚博体育官方网站固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求亚博体育官方网站具有较高的密度。亚博体育官方网站的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。亚博体育官方网站密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高亚博体育官方网站的密度和强度使亚博体育官方网站能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是亚博体育官方网站的关键性能指标之一。?

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

? ? 通常亚博体育官方网站为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种亚博体育官方网站,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。


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